27/02/2023
Les capteurs de haute précision de Micro-Epsilon sont utilisés dabs l’industrie des semi-conducteurs pour surveiller les mouvements de la machine sur l'ensemble du processus, pour permettre des positionnements optiques d'une précision submicrométrique et pour effectuer des mesures géométriques sur les wafers
Ils sont ainsi utilisés dans de nombreuses étapes de processus de l'industrie des semi-conducteurs, comme le slicing, la détermination de la position lors de la manipulation des wafers, la mesure de l’inclinaison des wafers et le positionnement des porte-plaquettes.
Pour fabriquer des capteurs répondant à de telles exigences, des technologies de fabrication particulières sont nécessaires. C’est pourquoi tous les capteurs de précision et systèmes d’actionneur sont fabriqués dans le groupe d’entreprises. En raison des exigences élevées qui sont à la base de la production de capteurs, tous les capteurs et systèmes de Micro-Epsilon sont soumis à des processus de fabrication et de contrôle complexes.
La fabrication se fait notamment en salle blanche, où il faut respecter des valeurs d’humidité et de température définies. La technologie laser à impulsions ultracourtes est également utilisée, ainsi que des lasers rouges et verts pour une extrême précision lors du soudage. Les procédés de brasage sous vide à haute température permettent de réaliser des assemblages céramique-métal hermétiques. L'usinage de pièces mécaniques de précision est réalisé sur des machines 5 axes ultramodernes.
Des tests approfondis permettent d’assurer que les exigences élevées en matière de durée de vie des produits de Micro-Epsilon sont respectées tout au long du cycle de vie du produit. En plus, les procédés de revêtement modernes soutiennent une application quasi complète sur de nombreuses surfaces. Cela permet une application uniforme même dans les endroits difficiles à atteindre, comme par exemple les bords ou les fentes.
Micro-Epsilon offre des capteurs, des actionneurs et des mécaniques de précision répondant aux exigences de qualité les plus élevées. Cela permet des solutions d’application performantes, de haute précision, robustes et personnalisées, qui ont fait leurs preuves dans l’optique, la construction mécanique de précision ainsi que dans la production électronique et de semi-conducteurs.
Équipés des interfaces intégrées EtherCAT, EtherNet/IP et PROFINET, ces capteurs de déplacement sont désormais plus intelligents, plus rapides et plus simples d'utilisation. Ils combinent une fréquence de mesure élevée avec une taille compacte, un contrôleur intégré et une grande précision de mes...
Conçu sous la forme d’un cadre enfer à cheval. ce système effectue des contrôles géométriques précis de produits longs en acier, aluminium et métaux non ferreux dans un environnement industriel difficile comme ceux que l'on peut rencontrer dans l’industrie métallurgique
Développé par Micro-Epsilon, cette gamme de plus de 30 capteurs de mesure capacitive avec des plages de mesure de 0,05 jusqu’à 10 mm permet de fournir des mesures de distance, de position et d’épaisseur de haute précision. La technologie Triax innovante permet de remplacer les capteurs sans calib...
Le capteur laser innovant optoNCDT 1900 avec l’interface EtherCAT intégrée constitue une solution de détection performante destinée à l'automatisation des usines et des installations pour toutes les mesures dynamiques de haiute précision de déplacement, de distance et de position.
La technique de mesure utilisée dans les nombreuses étapes de production de la fabrication de batteries est soumise exigences drastiques en termes de précision, de performance et de robustesse. C’est pourquoi, l’utilisation des capteurs de distance, des scanners laser et des systèmes de capteurs...
Les nouveaux contrôleurs confocaux confocalDT 2465 et 2466 multi-peak sont particulièrement adaptés pour les mesures de distance et d'épaisseur sur des surfaces sombres ou rugueuses. Ces modèles offrent une puissante intensité lumineuse avec des taux de mesure élevés allant jusqu'à 30 kHz.
Avec les nouvelles générations de surfaceCONTROL, reflectCONTROL et scanCONTROL, Micro-Epsilon présente un portefeuille de produits 3D performants pour le contrôle précis de géométrie, de forme et de surface. Le logiciel performant 3DInspect, compatible avec tous les capteurs 3D de Micro-Epsilon...
Pouvant être utlisées avec des températures allant de -40 °C à +65 °C, ces capteurs laser disponibles avec des éléments de chauffage et de refroidissement permettre de fournir des résultats stables dans les plages de mesure jusqu’à 150 m.
Ces interféromètres sont utilisés lorsqu'il est nécessaire de procéder à des mesures de distance et d'épaisseur à haute résolution. Ils permettent désormais de détecter les couches transparentes avec une grande précision.
Permettant la mesure du déplacement et de la distance sur de grandes trajectoires, ces capteurs de distance laser peuvent être installés à l’intérieur ainsi qu’à l’extérieur dans des environnements avec des températures allant de -40 °C à +65 °C.
Les systèmes de capteurs thicknessGAUGE permettent une mesure d’épaisseur hautement précise et en ligne de la mesure d’épaisseur des feuillards et plaques jusqu’à 25 mm.
Extrêmement compact, ce capteur laser peut être utilisé pour réaliser des mesures de distance stables et de hautes précisions sur de nombreuses surfaces métalliques lisses, rugueuses, diffuses et brillantes même celles qui comportent des rugosités, défauts, indentations ou des trous.
Conçu pour le contrôle de qualité automatisé en ligne, ce capteur d'instantanés 3D effectue des inspections automatisées de la géométrie, des formes et des surfaces sur des surfaces à réflexion diffuse. Sa haute précision de répétabilité en z permet la détection fiable des plus petits écarts de...
Outre leurs capacités à effectuer des mesures de déplacement précises, ces capteurs capacitifs Micro-Epsilon permettent de réaliser des mesures d'épaisseur de précision et sans contact jusqu'à la plage submicrométrique, même dans les environnements industriels difficiles.
Conçu pour des plages de mesure allant de 2 à 500 mm, ce capteur innovant est utilisé pour les mesures dynamiques de déplacement, de distance et de position et convainc par sa vitesse, sa conception et sa précision. Son contrôleur intégré permet un traitement et une sortie rapides et très précis...
Les capteurs confocaux sont utilisés pour la mesure de la distance et de l'épaisseur dans les domaines requérant la plus grande précision et la stabilité du signal sont requises. Ils offrent une technologie ultramoderne combinée à une grande rapidité et une précision maximum.
Le capteur IMP-TH70 pour l’interféromètre à lumière blanche IMS5400 permet de mesurer l’épaisseur des verres et des films avec une résolution de < 1 nm . Le capteur dont la distance de travail de 70 mm, environ est deux fois supérieure à la précédente, offre en plus un angle d’inclinaison accru.
Utilisés pour la mesure de la distance et de l'épaisseur dans les domaines requérant la plus grande précision et la stabilité du signal sont requises, Micro Epsilon vient de lancer 3 nouveaux modèles de capteurs confocaux
Ce capteur est utilisé partout où des mesures 3D de haute précision sur des surfaces miroitantes sont demandées. Il fournit une représentation 3D de la surface en permettant de déterminer la topologie des composants
Permettant de mesurer des distances jusqu’à 150 m dans les applications d’automatisation et de l’industrie, ces capteurs de distance avec interface IO-Link peuvent être intégrés simplement dans tous les systèmes de bus de terrain et d’automatisation
Ce capteur de déplacement à fil tendu permet de réaliser avec grande précision des mesures de distances et de positions dans des applications industrielles avec de grandes quantités de pièces et ce aussi bien en zone intérieure qu'extérieure
